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当前位置首页 >>> 产品介绍 >>> 其它产品 >>> 半导体晶圆湿法清洗台,冲洗器以及干燥设备



半导体晶圆湿法清洗台,冲洗器以及干燥设备 - Universal (Far East)公司产品


我们提供用于处理半导体晶圆的湿法清洗台、冲洗机及干燥设备,这些设备同时也适用于平板显示器和其他微电子衬底清洗及干燥。我们的目标是以我们多年的行业经验为客户提供最好的产品。


我们提供手动,半自动和全自动湿法清洗台,可依照客户的要求订做,如扩散前的清洗,氮化物薄膜蚀刻以及光刻胶去除等。我们的设备都符合以下标准:SEMI(s2-93)安全生产方针和FM-200标准。我们的清洗台用SS,PP以及FM4910认证材料制造。


如果您对这些产品有任何需要和问题,请联络我们,我们非常乐意为您提供服务。


产品分类:


Contents

A. 我们的湿法清洗台包括:


1. 全自动湿法清洗台



2. 半自动湿法清洗台



3. 手动湿法清洗台



B. 化学品容器:


1. 化学品分散系统



2. 化学品混合系统



C. 湿法清洗台的辅助配件


1. 气动机械传输系统:


  • 外壳由聚丙烯制成,带有氮气冲洗口。
  • 可作0到180度回旋。
  • 负荷量达30磅。
  • PLC控制



2. 伺服电机机械传输系统


  • 外壳由塑料制成,带有氮气冲洗口。
  • 可作0到180度回旋。
  • 负荷量达50磅。
  • PLC控制。



3. 清洗槽


我们提供多种湿法清洗槽,包括常温槽,溢流式多级清洗器槽、经济型高/中/低温水槽、再流通槽、过滤槽,超声波槽,兆声波槽。


高效冲洗器 >> 蚀刻过滤槽


Image:rinser-tank.jpg


槽体材料:PP,PVDF,PFA,Quartz,SS

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